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產(chǎn)品特性：

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描

Z軸采用高精度音圈電機，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±0.2um

XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um

典型應用領(lǐng)域：6/8寸/12寸晶圓檢測

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）