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直線(xiàn)電機

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定制電機與平臺

5軸全直驅?zhuān)渲蠿YZ三軸為直線(xiàn)電機，A/C軸為直驅力矩電機 XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋轉角度優(yōu)化的結構設計，高剛性 XYZ氣冷設計，控制溫升，重復定位精度可達±0.75um XYZ軸最大速度1m/s,最大加速度3-4g Z軸采用電磁彈簧設計，安全性高

5軸平臺用于3D測量

5軸全直驅?zhuān)渲蠿YZ三軸為直線(xiàn)電機，A/C軸為直驅力矩電機 XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋轉角度優(yōu)化的結構設計，高剛性 XYZ氣冷設計，控制溫升，重復定位精度可達±0.75um XYZ軸最大速度1m/s,最大加速度3-4g Z軸采用電磁彈簧設計，安全性高

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XY軸為直線(xiàn)電機，集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.75um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±0.5um

XYZ微型顯微鏡平臺

XY軸為直線(xiàn)電機，集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.75um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±0.5um

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XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

XYZ醫藥應用平臺

XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

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XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

XYZ點(diǎn)膠注射平臺

XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

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XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um Z軸直線(xiàn)電機，內置高精度光柵尺，行程可達50mm

XYZ用于電子組裝平臺

XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um Z軸直線(xiàn)電機，內置高精度光柵尺，行程可達50mm

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XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um XY采用風(fēng)琴罩防塵設計，

XYZ激光應用平臺

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um XY采用風(fēng)琴罩防塵設計，

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XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

XYZ雙驅龍門(mén)平臺

XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺反饋，重復定位精度±1um

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XY中空設計 XY行程288mm*288mm XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um，絕對定位精度2um

中空XY 晶圓檢測平臺

XY中空設計 XY行程288mm*288mm XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um，絕對定位精度2um

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XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描 Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±1um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度

XYZ 晶圓檢測平臺

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描 Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±1um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度

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用于920mm*1500mm 液晶面板封裝

14軸G6.5 大理石平臺

用于920mm*1500mm 液晶面板封裝

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XY為超薄直線(xiàn)電機，內置光柵尺，重復定位精度＜1um Theta軸為直驅力矩電機，角度調整，內置光柵尺最上端為3個(gè)Z軸音圈電機，特殊算法，內置光柵尺，可以實(shí)現上下調焦及超高精度調平

6軸迷你平臺用于光學(xué)調平定位

XY為超薄直線(xiàn)電機，內置光柵尺，重復定位精度＜1um Theta軸為直驅力矩電機，角度調整，內置光柵尺最上端為3個(gè)Z軸音圈電機，特殊算法，內置光柵尺，可以實(shí)現上下調焦及超高精度調平

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XYZ均采用直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XYZ內置高精度絕對值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復定位精度≤±100nm，絕對定位精度（位置誤差補償后）≤±350nm；配套專(zhuān)用高精度控制器，實(shí)現靜態(tài)抖動(dòng)（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩定；高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高；

XYZ光纖耦合平臺

XYZ均采用直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XYZ內置高精度絕對值光柵尺，1nm光柵分辨率，重復定位精度≤±100nm，絕對定位精度（位置誤差補償后）≤±350nm；配套專(zhuān)用高精度控制器，實(shí)現靜態(tài)抖動(dòng)（jitter）值≤±25nm，讓耦合更穩定；高速尋光，每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g，讓找光、尋光更快，效率更高；

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XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um 結構設計簡(jiǎn)單，緊湊

XY點(diǎn)膠平臺

XY軸單邊龍門(mén)結構，僅一側由直線(xiàn)電機驅動(dòng) XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±2um 結構設計簡(jiǎn)單，緊湊

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XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um

XY龍門(mén)雙驅平臺

XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um

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XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機 Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±1um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

XYZ-3D玻璃切割平臺

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機 Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±1um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

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XY軸固定龍門(mén)設計，結構緊湊 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.75um Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，可承載45Kg，重復定位精度±1um

XYZ固定龍門(mén)平臺

XY軸固定龍門(mén)設計，結構緊湊 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.75um Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，可承載45Kg，重復定位精度±1um

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XY中空設計，Class100 XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um，絕對定位精度2um T軸為高精度力矩電機，軸向/徑向端跳＜3um，360度旋轉

XYT晶圓測試平臺

XY中空設計，Class100 XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um，絕對定位精度2um T軸為高精度力矩電機，軸向/徑向端跳＜3um，360度旋轉

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XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸重復定位精度±1um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

龍門(mén)雙驅平臺用于測試和激光應用

XY軸龍門(mén)雙驅結構，底部?jì)蓚€(gè)直線(xiàn)電機同步控制， XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸重復定位精度±1um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

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X/Y/Z軸均為直驅電機動(dòng)梁龍門(mén)設計，行程可無(wú)限加長(cháng)

XYZ 龍門(mén)銑雙驅加工中心平臺

X/Y/Z軸均為直驅電機動(dòng)梁龍門(mén)設計，行程可無(wú)限加長(cháng)

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XY軸固定龍門(mén)結構 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸重復定位精度±1um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

XYZ 激光打標平臺

XY軸固定龍門(mén)結構 XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um Z軸重復定位精度±1um 底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸超高的平面度和剛性

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直線(xiàn)電機動(dòng)子采用炭纖維材料，質(zhì)量更輕，高剛性，適用于高加速度工況，加速度可達30G甚至更高。

碳纖維線(xiàn)圈電機

直線(xiàn)電機動(dòng)子采用炭纖維材料，質(zhì)量更輕，高剛性，適用于高加速度工況，加速度可達30G甚至更高。

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XYZ堆疊結構，結構緊湊 XYZ 三軸內置直線(xiàn)電機 XYZ集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um

XYZ 手機零件組裝平臺

XYZ堆疊結構，結構緊湊 XYZ 三軸內置直線(xiàn)電機 XYZ集成高精度光柵尺，重復定位精度±1um

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直線(xiàn)電機動(dòng)子采用特殊水冷設計，連續運行24小時(shí)，全表面溫升小于1度，磁軌運動(dòng)，高功率密度。

水冷動(dòng)磁鐵直線(xiàn)電機

直線(xiàn)電機動(dòng)子采用特殊水冷設計，連續運行24小時(shí)，全表面溫升小于1度，磁軌運動(dòng)，高功率密度。

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XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描 Z軸采用高精度音圈電機，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±0.2um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um

XYZ 平臺用于晶圓測量

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描 Z軸采用高精度音圈電機，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±0.2um XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um

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